IT·과학 2026.10.12

전북대, 전자빔으로 차세대 반도체 소재 정밀 조절 기술 개발

전자신문 · 2026.10.12 00:00
전북대, 전자빔으로 차세대 반도체 소재 정밀 조절 기술 개발

전북대와 서울대 공동연구팀이 전자빔을 이용해 페로브스카이트 박막의 일함수를 정밀 조절하는 기술을 개발했다. 이 기술은 복잡한 공정 없이도 차세대 반도체 소자의 에너지 준위를 국소적으로 제어할 수 있어 활용도가 높을 것으로 기대된다.

"전북대학교는 김성헌·진경환 물리학과 교수팀이 이진욱 서울대학교 교수팀과의 공동연구를 통해 전자빔 조사를 이용해 차세대 반도체 소재인 페로브스카이트 박막의 일함수를 마이크로미터 수준에서 정밀하게 조절하는 기술을 개발했다고 12일 밝혔다."

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