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포스텍 연구팀이 질화티타늄 위에서 텅스텐이 고르게 자라는 원리를 규명했습니다. 이번 연구는 차세대 반도체 제조 공정의 효율과 성능 향상에 기여할 것으로 기대됩니다.
"포스텍(POSTECH)은 이동화 신소재공학과 교수 연구팀이 컴퓨터 계산으로 원자의 움직임을 들여다보는 방법을 통해 질화티타늄 위에서 텅스텐이 얇은 판(나노시트) 모양으로 빠르게 자라는 원리를 규명했다고 4일 밝혔다."
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