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중국 반도체 장비업체 랑다오쑤이옌이 EUV 노광장비의 핵심 부품인 광원 시스템 시제품을 공개했다. 기술 자립을 위한 성과로 평가받지만, 상용화를 위한 안정성 확보와 양산까지는 수년의 시간이 더 필요할 것으로 보인다.
"中업체, ASML에 도전장…노광장비 핵심부품 공개 양산까진 최대 5년 필요 미국의 첨단 반도체 제조장비 수출 통제에 맞서 기술 자립을 추진 중인 중국이 극자외선(EUV)"
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