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중국 업체 랑다오쑤이옌이 국산화율 90%를 달성한 EUV 광원 시스템 시제품을 공개했습니다. 다만 상업적 양산까지는 출력 증대와 안정성 확보 등 3~5년의 추가 개발 기간이 필요할 것으로 보입니다.
"中 랑다오쑤이옌, EUV 광원 시제품 공개 "국산화율 90%…ASML 기술노선과 동일" 상업 양산 3∼5년 과제…출력·안정성 관건 전체 내용을 이해하기 위해서는 기사 본문과 함께 읽어야 합니다."
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